化學氣相反應(CVR)法是以B2O3為原料，經熔紡制成B2O3纖維，再置于較低的溫度和氨氣中加熱，使B2O3與氨氣反應生成硼氨中間化合物，再將這種晶型不穩定的纖維在張力下，進一步在氨氣或氨與氮的混合氣體中加熱至1800℃，使之轉化成BN纖維，其強度可達2.1GPa，模量可達345GPa。
化學氣相沉積(CVD)法系由鎢芯硼纖維氮化而成。制造時，先將硼纖維加熱至560℃進行氧化，再將氧化纖維置于氨中加熱至1000—1400℃，反應約6h后可制得BN纖維。
Si3N4纖維有兩種制法：一是以氯硅烷和六甲基二硅氮烷為起始原料，先合成穩定的氫化聚硅氦烷。經熔融紡絲制成纖維，再經不熔化和燒制而得到Si3N4纖維;二是以吡啶和二氧化硅烷為原料，在惰性氣體保護下反應生成白色的固體加成物，再置于氮氣中進行氨分解得到全氫聚硅氮烷，再置于烴類溶劑中深解配置成紡絲溶液，經干法紡絲制成纖維，然后在惰性氣體或氨氣中于1100～1200℃溫度下進行熱處理而得氮化硅纖維。
SiBN3C纖維也是采用聚合物前軀體法生產的，是一種新的耐火纖維，起始原料為聚硅氨烷，經熔融紡絲、交聯、不熔化和裂解后制得纖維。
SiO2纖維是通過與制備高硅氧玻璃纖維相同的工藝制得的，先制成玻璃料塊，再進行二次熔化，采用鉑金坩堝拉絲爐進行熔融紡絲，溫度約1150℃，得到纖維或進一步加工成織物等成品后用熱鹽酸處理，除掉B2O3HNa2O成分，再進行燒結使纖維中SiO2的質量分數達到95%～百分之10o。另外，還有以SiO2為原料，配制成高黏度的溶膠后進行紡絲，制得前軀體纖維后，再加熱至1000℃，便可制得純度為百分之99.999的石英纖維。此外，還可用石英棒或管用氫氧焰熔融拉成粗纖維，然后再以恒定速度通過氫氧焰或煤氣火焰高速拉成直徑為4～10μm的連續長纖維，SiO2含量為百分之99。
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